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半导体特气检测仪XD-303，测试仪器网专业销售，提供半导体特气检测仪XD-303产品简介、技术参数。

半导体特气检测仪

XD-303

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产地：日本

厂商：COSMOS

价格：

特点：

采用定电位电解式传感器，对被测气体具有选择性

高检测灵敏度

能检测很多种类的半导体特气

液晶数字显示

规格

型号	XD-303AH	XD-303PH	XD-303BH	XD-303
检测对象气体	砷烷 (ASH3)	磷烷 (PH3)	乙硼烷 (B2H6)	其它
检测范围	0～1ppm 0～0.2ppm	0～1ppm 0～0.3ppm	0～1ppm	因规格而异
最小刻度	0.1ppm0.01ppm	0.1ppm0.01ppm	0.1ppm
采样方式	自动吸引式
应答速度	60%应答40秒

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